钽加工件由于钽与氧的反应活跃，所以必需避开在即使存在少许空气的气氛中进行热处理。因此，几乎所有的退火都是在高度真空中进行，而且加热炉的气密性也必需很高。通常，钽的热处理温度一般在950~1300℃，钽与一般使用的钽合金在这一温度范围内不发生相变，热处理仅仅是用来退火，因此加热温度和冷却速度都不重要。为了产生完全的再结晶，热处理时间稍长一点好。钽都有很高的纯度。通过退火晶粒变得非常大。结晶粒的尺寸大小由冷加工、纯度、温度及工艺步骤所决定。因此，温度控制和工序控制是决定结晶大小的重要手段。钽与其它的很多金属不同，在热处理前必须非常干净。如不清洗得非常干净， 便会发生由氢、氧、氮及碳造成的表面污染，成为脆化(硬化)组织。因为氢、氧、氮及碳在钽退火的温度范围内是非常活跃的侵入型元素，一旦被这些元素污染，除了重新熔炼外，别办法除掉。